[发明专利]一种硅片腐蚀装置有效
| 申请号： | 201811167918.X | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN109142206B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 庄须叶 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233030 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片腐蚀装置，其特征在于：它包括水浴箱（1），在水浴箱（1）内设有一对壁板（5），在一对壁板（5）之间跨接有腐蚀槽（2），在腐蚀槽（2）内设有腐蚀液（3），设置硅片腐蚀架（4），硅片腐蚀架包括浸入腐蚀液（3）的下板（4a）和跨设在腐蚀槽（2）上方的上板（4b）,在上、下板之间设有一组拉杆（4c）,在下板（4a）上设有一组硅片支撑座（4d），在上板（4b）上均布有一组升降装置（4e）。本发明结构简单、使用方便、能确保硅片在腐蚀液中始终保持水平状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 腐蚀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种硅片腐蚀装置，其特征在于：它包括水浴箱（1），在水浴箱（1）内设有一对壁板（5），在一对壁板（5）之间跨接有腐蚀槽（2），在腐蚀槽（2）内设有腐蚀液（3），设置硅片腐蚀架（4），硅片腐蚀架包括浸入腐蚀液（3）的下板（4a）和跨设在腐蚀槽（2）上方的上板（4b）,在下板（4a）上设有一组拉杆（4c），拉杆（4c）的上端与上板（4b）连接，在下板（4a）上设有一组硅片支撑座（4d），在上板（4b）上均布有一组升降装置，在水浴箱（1）下部连通有进水管（4）。
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