[发明专利]支撑装置及反应腔室在审
| 申请号： | 201811172953.0 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111029236A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王勇飞;史小平;兰云峰;王帅伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种支撑装置及反应腔室，包括支撑部件、设置于支撑部件上的卡紧部件、以及限位结构，卡紧部件能够相对于支撑部件转动，限位结构用于限定卡紧部件在第一角度与第二角度之间转动，其中，卡紧部件包括卡槽，卡槽用于承载并卡紧衬底；当卡紧部件转动至第一角度时，卡槽的开口相对水平面倾斜向上设置，以承载衬底；在衬底移入卡槽的过程中，依靠衬底的重力作用卡紧部件能自第一角度转动至第二角度，以将衬底卡紧。本发明提供的支撑装置及反应腔室能够避免衬底在工艺过程中产生滑移，并且避免衬底发生变形甚至损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 装置 反应 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811172953.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：核壳结构纳米晶的制备方法
- 下一篇：谷物清选筛箱焊合体检测装置及方法
