[发明专利]掩膜板对位系统、方法及装置有效
| 申请号： | 201811180247.0 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109182966B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王俊;卢青;史晓波 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;G02F1/13;H01L21/68;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王文红 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种掩膜板对位系统、方法及装置。所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备；掩膜板设置在发光设备的光线传输路径上，其中掩膜板上开设有对位孔缝；图像采集设备用于实时采集由发光设备发出的光线穿过对位孔缝时所形成的衍射图像，图像采集设备与数据处理设备通信连接，以将采集到的衍射图像传输给数据处理设备，使数据处理设备将衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到对应的图像匹配情况；数据处理设备与对位调整设备通信连接，以根据图像匹配情况向对位调整设备输出位置调整方案，使对位调整设备对掩膜板进行位置调整。所述系统可实现对掩膜板的快速精准对位，降低设备宕机现象的产生概率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 对位 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板对位系统，其特征在于，所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备；所述发光设备用于发射光线，所述掩膜板设置在所述发光设备的光线传输路径上，其中所述掩膜板上开设有对位孔缝；所述图像采集设备用于实时采集由所述发光设备发出的光线穿过所述对位孔缝时所形成的衍射图像，所述图像采集设备与所述数据处理设备通信连接，以将采集到的衍射图像传输给所述数据处理设备，使所述数据处理设备将所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配情况；所述数据处理设备与所述对位调整设备通信连接，以根据所述图像匹配情况向所述对位调整设备输出位置调整方案，使所述对位调整设备按照所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。
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