[发明专利]图像传感器

摘要

一种图像传感器包括：基板，其包括相反的第一表面和第二表面；在基板的第一表面上的第一栅极和第二栅极，第一栅极和第二栅极的每个在第一方向上延伸；第一隔离层，其在第一栅极与第二栅极之间位于基板中，并在交叉第一方向的第二方向上具有第一宽度；第二隔离层，其在基板中位于第一隔离层上，并在第二方向上具有小于第一宽度的第二宽度。第二隔离层比第一隔离层更靠近基板的第二表面。第一隔离层与第二隔离层之间的垂直距离是第一隔离层的高度的1/3或更小。

主权项

1.一种图像传感器，包括：包括第一表面和第二表面的基板；在所述基板的所述第一表面上的第一栅极和第二栅极，其中所述第一栅极和所述第二栅极每个在第一方向上延伸；在所述第一栅极与所述第二栅极之间位于所述基板中的第一隔离层，其中所述第一隔离层在交叉所述第一方向的第二方向上具有第一宽度；以及在所述基板中位于所述第一隔离层上的第二隔离层，其中在所述第二方向上，所述第二隔离层具有比所述第一宽度小的第二宽度；其中所述第二隔离层比所述第一隔离层更靠近所述基板的所述第二表面，以及其中所述第一隔离层与所述第二隔离层之间的垂直距离是所述第一隔离层的高度的1/3或更小。