[发明专利]载台装置与平面度检测调整设备在审
| 申请号： | 201811187018.1 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110779472A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;赖宪平 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴志红;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载台装置与平面度检测调整设备。载台装置包括基座、吸附区以及气浮区。基座具有第一承载面以承载目标物。吸附区设置于第一承载面，使目标物吸附于第一承载面上。气浮区邻近吸附区并凹陷于第一承载面。当第一承载面承载目标物时，目标物覆盖吸附区与气浮区，其中吸附区提供吸力至目标物的外缘部，且气浮区提供吹力至目标物的外缘部以内的中间部。 | ||
| 搜索关键词： | 目标物 吸附区 承载面 气浮区 载台装置 承载 外缘部 吸力 平面度检测 调整设备 中间部 吸附 邻近 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种载台装置，其特征在于，包括：/n基座，具有第一承载面，以承载目标物；/n吸附区，设置于所述第一承载面，使所述目标物吸附于所述第一承载面上；以及/n气浮区，邻近所述吸附区并凹陷于所述第一承载面，/n其中当所述第一承载面承载所述目标物时，所述目标物覆盖所述吸附区与所述气浮区，其中所述吸附区提供吸力至所述目标物的外缘部，且所述气浮区提供吹力至所述目标物的所述外缘部以内的中间部。/n
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