[发明专利]检测源监控单元的方法有效
| 申请号： | 201811198891.0 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109270480B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 韩斌 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测源监控单元的方法，用于晶圆允收测试机中多个源监控单元的检测，包括：提供晶圆允收测试机，选定多个源监控单元；针对每个源监控单元，连接源监控单元与对应探针卡上的两个探针；在同一条件下，利用每个源监控单元多次循环测试探针上的电流或两个探针之间的电压；比较分析多个源监控单元测得的电流或电压，判断源监控单元是否异常。本发明利用探针卡上的探针与晶圆允收测试机中的源监控单元构成导电测试回路，在最大程度的接近实际测试状况下，针对晶圆允收测试机中的多个源监控单元进行测试，通过横向比较多个源监控单元的测试结果，能及时发现出现异常的源监控单元，从而能提前预防测试问题，缩短了查找测试问题的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 监控 单元 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测源监控单元的方法，用于晶圆允收测试机中多个源监控单元的检测，其特征在于，包括：提供至少一台所述晶圆允收测试机，选定多个源监控单元；针对每个所述源监控单元，连接所述源监控单元与对应探针卡上的两个探针；在同一条件下，利用每个所述源监控单元多次循环测试所述探针上的电流或两个所述探针之间的电压；以及比较分析多个所述源监控单元测得的电流或电压，并判断多个所述源监控单元是否异常。
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