[发明专利]一种掩模板、晶圆及其曝光方法、封装方法

摘要

本发明提供了一种掩模板、晶圆及其曝光方法、封装方法。所述掩模板包括若干个产品晶粒图形以及至少一个对准晶粒图形，所述产品晶粒图形用于在晶圆上形成产品图形，所述对准晶粒图形用于在晶圆上形成后道封装时对准定位的掩膜图形。本发明还提供了一种晶圆及其曝光方法、封装方法。本发明采用具有对准晶粒图形的掩模板，曝光制备的晶圆具有在后道封装时用于对准和定位的对准晶粒，减少了作为mirror die用于后道封装对准和定位所牺牲的晶粒的数量，从而降低了成本。

主权项

1.一种掩模板，其特征在于，包括若干个产品晶粒图形以及至少一个对准晶粒图形，所述产品晶粒图形用于在晶圆上形成产品图形，所述对准晶粒图形用于在晶圆上形成后道封装时对准定位的掩膜图形。