[发明专利]一种压电薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201811201761.8 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN111048659A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 向勇;胡潇然 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L41/02 分类号: H01L41/02;H01L41/16;H01L41/18;H01L41/317;H01L41/37;H01L41/45
代理公司: 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 代理人: 黎照西
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及压电材料技术领域,尤其涉及一种压电薄膜及其制备方法。其制备方法包括将偏氟乙烯预溶液与石墨烯悬浮液混合、分散后获得偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液;将偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液涂布于一衬底之上,干燥处理以形成待处理薄膜;进一步将待处理薄膜进行极化处理以获得所需压电薄膜。上述制备方法的制备工艺效率高、制备获得的压电薄膜的耐高温性能好,其力电转换能力也有显著的提升,可获得压电系数大于32pc/N的压电薄膜。本发明还提供一种压电薄膜,其是基于如上所述的压电薄膜制备方法制备获得,所述压电薄膜的压电系数大于32pc/N。
搜索关键词: 一种 压电 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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