[发明专利]压力传感器设备和压力传感器设备的制造方法有效
| 申请号： | 201811204304.4 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109668673B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | E·施托斯库;M·波姆;S·亚恩;E·兰德格拉夫;M·韦伯;J·魏登奥 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及压力传感器设备和压力传感器设备的制造方法。压力传感器设备(2000)包括压力传感器设备(2000)的半导体管芯(120)和压力传感器设备(2000)的接合线(110)。接合线(110)的一部分与半导体管芯(120)之间的最大垂直距离(2012)大于半导体管芯(120)与覆盖半导体管芯(120)的凝胶(2010)的表面之间的最小垂直距离(2014)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器设备(2000)，包括：所述压力传感器设备(2000)的半导体管芯(120)；以及所述压力传感器设备(2000)的接合线(110)；其中所述接合线(110)的一部分与所述半导体管芯(120)之间的最大垂直距离(2012)大于所述半导体管芯(120)与覆盖所述半导体管芯(120)的凝胶(2010)的表面之间的最小垂直距离(2014)。
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