[发明专利]片材夹具及沉积设备

摘要

本发明提供了一种片材夹具及沉积设备，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该片材夹具包括传动单元、送料件和沉积板，送料件位于沉积板的上方，片材装载在沉积板上，传动单元通过带动送料件运动从而带动片材移动；该片材夹具通过带动片材沿沉积板连续移动，使得片材的待沉积部分连续通过热丝对应的有效沉积区域，进而实现片材由待沉积状态向已沉积状态转变，故采用该夹具能够连续沉积片材面积大于沉积设备有效沉积范围的片材，可大大提高沉积效率，缩短生产周期，降低生产成本；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积设备原有的结构和部件。本发明还提供一种沉积设备，包括炉体，上述片材夹具位于炉体内，片材夹具与炉体可拆卸固定连接。

主权项

1.一种片材夹具，其特征在于，包括传动单元(1)、送料件(2)和沉积板(3)；所述送料件(2)位于所述沉积板(3)的上方，片材(4)装载在所述沉积板(3)上，所述传动单元(1)通过带动所述送料件(2)运动从而带动所述片材(4)移动。