[发明专利]一种蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法在审
| 申请号： | 201811234189.5 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109182976A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 黄建宁 | 申请（专利权）人： | 黄建宁 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京尚钺知识产权代理事务所(普通合伙) 11723 | 代理人： | 王海荣 |
| 地址： | 322204 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀系统及蒸镀及掩膜板清洗方法，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。与现有技术相比，根据本发明的蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法，可以显著提高蒸镀工艺效率和清洗效果，并在保护环境的同时显著降低清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 掩膜板 分离平台 蒸镀系统 清洗模块 清洗 对位 储藏室 转换平台 加热室 有机蒸镀室 工艺效率 金属蒸镀 清洗单元 清洗效果 冷却室 卸载台 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀系统，其特征在于，所述系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块；其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。
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