[发明专利]喷嘴待机装置、液处理装置及其运转方法和存储介质

摘要

本发明提供一种喷嘴待机装置。在喷嘴收纳部中，将溶剂吸入喷嘴的前端部以形成溶剂的液层时，能够节省向喷嘴收纳部供给的溶剂。使喷嘴在喷嘴收纳部待机，从溶剂出液口以第一流量供给溶剂，以封闭喷嘴的出口的方式形成液膜后，以比第一流量少的第二流量供给溶剂。第二流量是能够维持喷嘴的出口被溶剂封闭的状态的流量，形成于喷嘴的出口的液膜与溶剂接触，由此利用表面张力将溶剂吸入喷嘴的前端部，形成溶剂的液层。因此，不需要在喷嘴收纳部形成溶剂的积液，而且在从溶剂出液口供给溶剂的期间，使该供给流量从第一流量减少至第二流量，因此能够节省溶剂。

主权项

1.一种喷嘴待机装置，其用于：使用于吐出会因干燥而固化的处理液的喷嘴待机，将溶剂吸入喷嘴的前端部以形成溶剂的液层，所述喷嘴待机装置的特征在于，包括：喷嘴收纳部，其包括以包围所述喷嘴的前端部的方式形成的内周面，与喷嘴的出口相对地形成有收纳部排出口；溶剂出液口，其在所述喷嘴收纳部内开口，并形成为沿所述喷嘴收纳部的内周面引导从该溶剂出液口吐出的溶剂而使其从所述收纳部排出口排出；和溶剂供给部，在所述喷嘴的前端部形成溶剂的液层时，其以第一流量向溶剂出液口供给溶剂，利用该溶剂以封闭所述喷嘴的出口的方式形成液膜后，以比所述第一流量少的第二流量向溶剂出液口供给溶剂，其中所述第二流量是能够维持所述喷嘴的出口被溶剂封闭的状态的流量。