[发明专利]可多元加热机构的基板烘烤机台在审
| 申请号： | 201811237413.6 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111090181A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 李东明 | 申请（专利权）人： | 李东明 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其是一种用于基板烘烤机台的多种加热机构，将其搭配使用能提升腔体内的基板全面均匀受热，并降低不合格率。其主要系烘烤腔体内设有热板、红外线加热器及热风装置，即能运用热传导、热辐射及热对流对基板加热，以达到多元加热使基板能全方位受热，尤其本发明的多元加热机台能灵活操控热源的使用，以符合业者实务上的需求，实为一创新的可多元加热机构的基板烘烤机台。 | ||
| 搜索关键词： | 多元 加热 机构 烘烤 机台 | ||
【主权项】：
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