[发明专利]一种积木式平板PECVD镀膜系统在审
| 申请号： | 201811239277.4 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109207966A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 何振杰 | 申请（专利权）人： | 杭州海莱德智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/52;C23C16/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的一种积木式平板PECVD镀膜系统，包括载板、真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块，所述真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块之间通过隔离装置连接。本发明的积木式平板PECVD镀膜系统，简化了功能部件，极大地提高了部件之间的通用性和互换性，降低制造成本。同时，根据实际需求，可以实现各种复合薄膜的制备，提高了设备的兼容性和灵活性，有利于后续的技术升级，大大延长了设备的生命周期，在一定程度上降低了行业的投资门槛，降低光伏发电的度电成本。 | ||
| 搜索关键词： | 积木式 工艺模块 过渡模块 升降模块 高低速 常压 自动化 度电成本 复合薄膜 隔离装置 功能部件 光伏发电 生命周期 实际需求 制造成本 互换性 兼容性 载板 制备 门槛 升级 投资 | ||
【主权项】：
1.一种积木式平板PECVD镀膜系统，其特征在于，包括载板、真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块，所述真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块之间通过隔离装置连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
