[发明专利]一种大面积石墨烯的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811245851.7 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN109052377B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 逄金波;程绮琳;孙春辉;张丛丛;王金刚;刘宏 申请(专利权)人: 济南大学
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 代理人: 薛鹏喜
地址: 250022 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种大面积石墨烯的制备方法,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积金属薄膜:(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜;(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理,得到石墨烯薄膜。本发明制备方法的成本低、效率高、可以实现批量化生产,可以制备得到高质量的单层或多层石墨烯薄膜,可以实现低成本、大批量晶圆级石墨烯的制备。
搜索关键词: 一种 大面积 石墨 制备 方法
【主权项】:
1.一种大面积石墨烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积金属薄膜:(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜;(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理,得到石墨烯薄膜。
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