[发明专利]一种大面积石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201811245851.7 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109052377B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 逄金波;程绮琳;孙春辉;张丛丛;王金刚;刘宏 | 申请(专利权)人: | 济南大学 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人: | 薛鹏喜 |
地址: | 250022 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种大面积石墨烯的制备方法,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积金属薄膜:(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜;(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理,得到石墨烯薄膜。本发明制备方法的成本低、效率高、可以实现批量化生产,可以制备得到高质量的单层或多层石墨烯薄膜,可以实现低成本、大批量晶圆级石墨烯的制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 大面积 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种大面积石墨烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积金属薄膜:(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜;(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理,得到石墨烯薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济南大学,未经济南大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811245851.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。