[发明专利]被加工物的加工方法有效
| 申请号： | 201811251709.3 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109719374B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 熊泽哲 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K10/00 | 分类号： | B23K10/00;B23K26/16;B23K26/364;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供被加工物的加工方法，能够降低在后续工序中产生问题的可能性。被加工物的加工方法具有如下的步骤：第1激光加工槽形成步骤(ST2)，沿着第1间隔道照射对于被加工物具有吸收性的波长的激光束而形成第1激光加工槽；第2激光加工槽形成步骤(ST3)，沿着第2间隔道照射激光束而形成第2激光加工槽；以及清洁步骤(ST4)，沿着第1间隔道照射激光束而去除如下的加工屑：该加工屑在第1激光加工槽形成步骤(ST2)中产生于第1激光加工槽的槽缘，并且由于实施第2激光加工槽形成步骤(ST3)而在第1间隔道与第2间隔道的交叉部处沿第2方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的加工方法，该被加工物具有由沿第1方向延伸的第1间隔道和沿与该第1方向交叉的第2方向延伸的第2间隔道构成的多条间隔道，该被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步骤：第1激光加工槽形成步骤，沿着该第1间隔道照射对于被加工物具有吸收性的波长的激光束而形成第1激光加工槽；第2激光加工槽形成步骤，在实施了该第1激光加工槽形成步骤之后，沿着该第2间隔道照射该激光束而形成第2激光加工槽；以及清洁步骤，在实施了该第2激光加工槽形成步骤之后，沿着该第1间隔道照射该激光束而去除如下的加工屑：该加工屑在该第1激光加工槽形成步骤中产生于该第1激光加工槽的槽缘，并且由于实施该第2激光加工槽形成步骤而在该第1间隔道与该第2间隔道的交叉部处沿该第2方向延伸。
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