[发明专利]灯珠加工用旋转盘式反应室在审
| 申请号： | 201811251763.8 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109208071A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 文波 | 申请（专利权）人： | 绵阳市伯夏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种灯珠加工用旋转盘式反应室，包括反应室主体，所述反应室主体外上端中部固定设置有进气管，所述进气管中央固定设置有隔流板，所述隔流板延伸至反应室主体内并且所述隔流板底端固定连接有气流板，所述反应室内壁上固定设置有延伸板，所述水平板与延伸板之间形成水平通道，所述水平通道一端在反应室主体内上部中央固定设置有集气槽，所述集气槽下端设有开口。本发明通过设置球形反应室主体与合适的气流通道，并在气流通道上设置电磁阀，使反应气可以在电磁阀的调节下与衬底基片均匀接触，使反应生成的外延片质地优良，具有更好的生产效果。 | ||
| 搜索关键词： | 反应室主体 固定设置 隔流板 气流通道 水平通道 旋转盘式 电磁阀 反应室 集气槽 进气管 延伸板 灯珠 反应室内壁 衬底基片 均匀接触 反应气 气流板 水平板 外延片 上端 底端 下端 加工 质地 开口 延伸 生产 | ||
【主权项】：
1.灯珠加工用旋转盘式反应室，包括反应室主体（1），其特征在于：所述反应室主体（1）外上端中部固定设置有进气管（2），所述进气管（2）中央固定设置有隔流板（3），所述隔流板（3）延伸至反应室主体（1）内并且所述隔流板（3）底端固定连接有气流板（4），所述气流板（4）包括弧形板（5）与水平板（6），所述弧形板（5）与反应室内壁之间形成弧形通道（7），所述反应室内壁上固定设置有延伸板（8），所述水平板（6）与延伸板（8）之间形成水平通道（9），所述水平通道（9）一端在反应室主体（1）内上部中央固定设置有集气槽（10），所述集气槽（10）下端设有开口，所述反应室主体（1）中部底端外设置有电机（11），所述电机（11）的输出端通过联轴器连接有磁流体旋转轴（12），所述磁流体旋转轴（12）一端固定连接有旋转基座（13），所述旋转基座（13）下方设置有加热器（14），所述旋转基座（13）上端面固定设置有衬底基片（15），所述反应室主体（1）一侧的下方固定设置有排气管（16）。
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