[发明专利]具有重新对准的特征布局的鳍基二极管结构

摘要

本发明涉及具有重新对准的特征布局的鳍基二极管结构，揭示数种二极管结构及制造二极管结构的方法。第一及第二栅极结构经形成为该第二栅极结构与该第一栅极结构平行地配置。形成从衬底的顶面垂直地伸出的第一及第二鳍片。第一及第二鳍片配置在该第一栅极结构与该第二栅极结构之间。接触结构与该第一鳍片及该第二鳍片耦合。该接触结构横向配置在该第一栅极结构与该第二栅极结构之间。

主权项

1.一种使用衬底形成的装置结构，该装置结构包含：第一栅极结构；第二栅极结构，与该第一栅极结构平行地配置；第一鳍片与第二鳍片，各自从该衬底的顶面垂直地伸出，该第一鳍片及该第二鳍片配置在该第一栅极结构与该第二栅极结构之间；以及第一接触结构，与该第一鳍片及该第二鳍片耦合，其中，该第一接触结构横向配置在该第一栅极结构与该第二栅极结构之间。