[发明专利]蒸镀装置及其控制方法在审
| 申请号： | 201811260094.0 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109306454A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提出了一种蒸镀装置及其控制方法，所述蒸镀装置包括载台，用于装载目标基板；蒸镀部件，与所述载台相对设置，所述蒸镀部件包括：第一壳体；第一开关，用于控制所述蒸镀部件的打开或闭合；位于所述第一壳体内的蒸镀源；与所述蒸镀源连接的至少一回收槽。本申请通过在蒸镀部件中设置至少一与所述蒸镀源连接的回收槽，使得在基板切换过程中，蒸镀材料能够被回收槽所收集，减小了材料的浪费，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀部件 蒸镀装置 回收槽 蒸镀源 基板 闭合 第一开关 第一壳体 相对设置 蒸镀材料 装载目标 减小 载台 申请 生产成本 体内 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：载台，用于装载目标基板；蒸镀部件，与所述载台相对设置，所述蒸镀部件包括：第一壳体；第一开关，用于控制所述蒸镀部件的打开或闭合；位于所述第一壳体内的蒸镀源；以及与所述蒸镀源连接的至少一回收槽。
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