[发明专利]环保型高效碱性蚀刻液在审
| 申请号： | 201811264427.7 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109136929A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 戴泽民;杨国雄;苑伟东 | 申请（专利权）人： | 深圳市中南环保科技控股有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/34 | 分类号： | C23F1/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市罗湖区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保型高效碱性蚀刻液，溶液配重比为：氨水400～600ml/L；氯化铵，240‑260g/L；添加剂小于1‰；其余为水；其中添加剂为无机化合物复配而成，溶液浓度小于1‰。本发明的有益效果是：蚀刻速度提高近15％，沉淀小、侧蚀现象少，不仅能够提高蚀刻速度和溶铜量，还可以有效保障蚀刻质量，尤其是采用“加温方式”配制添加剂，从而大大提高催化反应效果。后期对“提铜”后的废液进行再生处理后可以保证其效果不低于新鲜“子液”功效的85％以上的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 碱性蚀刻液 环保型 添加剂 氨水 催化反应效果 配制添加剂 无机化合物 有效保障 再生处理 氯化铵 侧蚀 废液 复配 加温 配重 溶铜 提铜 子液 沉淀 新鲜 保证 | ||
【主权项】：
1.环保型高效碱性蚀刻液，其特征在于：溶液配重比为：氨水400～600ml/L；氯化铵，240‑260g/L；添加剂小于1‰；其余为水；其中，添加剂是乙二基硫脲和热水复配而成的混合物。
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