[发明专利]电容式气压传感器在审
| 申请号： | 201811265396.7 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109238550A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 于文秀;闫文明 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电容式气压传感器，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。本发明电容式气压传感器，将敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面，微凹凸面的凹凸结构可缓冲敏感膜发生形变时产生的应力，使得敏感膜不易发生永久性形变或者碎裂，从而可保护敏感膜，进而可提高敏感膜和电容式气压传感器的耐破坏能力，增强敏感膜和电容式气压传感器的可靠、稳定性能。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感膜 电容式气压传感器 极板 微凹凸 永久性形变 碎裂 凹凸结构 产品载体 外部空气 稳定性能 相对设置 可缓冲 形变 | ||
【主权项】：
1.一种电容式气压传感器，其特征在于，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。
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