[发明专利]芯片条显微镜检验夹具有效

专利信息
申请号: 201811266522.0 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN109444165B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 彭海涛 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 高欣
地址: 050051 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种芯片条显微镜检验夹具,芯片检验技术领域,包括夹具体和夹紧体,夹具体用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离,夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面;夹紧体设置于夹具体上,用于固定待检测的芯片条。本发明提供的芯片条显微镜检验夹具,使用时,将芯片条固定到夹紧体上,芯片条的腔面朝上,与显微镜头相对,夹紧体连接到夹具体上,避免芯片条的腔面与其他物体接触,防止对芯片条的腔面造成损伤和沾污,进而更好的对芯片条进行显微镜检验,避免后续工艺的浪费。
搜索关键词: 芯片 显微镜 检验 夹具
【主权项】:
1.芯片条显微镜检验夹具,其特征在于,包括:夹具体,用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离,所述夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面;夹紧体,设置于所述夹具体上,用于固定待检测的芯片条。
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