[发明专利]用于检查显示单元的装置有效
| 申请号： | 201811268659.X | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109727883B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李允贞;鱼庆湖 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H10K59/12;H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 余文娟 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检查显示单元的装置。所述装置包括基板台，其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方；卡台，其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡；卡盒，其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡；卡转移单元，其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡；以及台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台。特别地，所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 显示 单元 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查显示单元的装置，所述装置包括：基板台，其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方；卡台，其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡；卡盒，其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡；卡转移单元，其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡；以及台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台，其中，所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
