[发明专利]一种输送系统在审
| 申请号： | 201811270205.6 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111099252A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 张进秋 | 申请（专利权）人： | 深圳市永盛隆科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/06 | 分类号： | B65G13/06;B65G69/20 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 518112 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及外延设备技术领域，尤其涉及一种输送系统，包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，传动部件包括转动轴及回转密封套，转动轴穿过真空腔室侧壁进入真空腔室内部，支撑部件设置于转动轴位于真空腔室内部的一端，支撑部件用于支撑被载物，驱动部件设置于转动轴位于真空腔室外部的一端，驱动部件用于驱动转动轴转动输送被载物，回转密封套套在转动轴位于真空腔室外的部分，并且回转密封套位于真空腔室与驱动部件之间。本发明可实现不含油的真空密封，避免真空环境油液微量挥发对真空环境造成污染，不易磨损老化失效，可减少后期维护工作，达到密封性能要求和环境使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 系统 | ||
【主权项】：
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