[发明专利]一种自动化工艺线中固定晶片的金属料盘

摘要

本发明提供了一种自动化工艺线中固定晶片的金属料盘，包括盘体，所述盘体上设置料盘放料位标识直边，所述料盘放料位标识直边用以拟合直线确定放料位旋转角度，所述盘体上设置晶片固定卡槽，所述晶片固定卡槽用以其与晶片形成高低落差并支撑晶片所述盘体设置金属料盘孔位台面，所述金属料盘孔位台面用以承载并提升金属料盘孔位高度，所述金属料盘孔位台面上设置金属料盘孔位，所述金属料盘孔位以其轮廓位置辅助定位所述金属料盘，所述盘体设置料盘固定卡槽，用以提供特殊定位点并辅助固定盘体，本发明的技术方案用以解决现有技术中的料盘晶片放置不稳定，易偏移，并且不能通过自动化的设备准确定位，不能实现工业自动化需要的缺陷。

主权项

1.一种新型的自动化工艺线中固定晶片的金属料盘，其特征在于：包括盘体，所述盘体以固定放置晶片的方式设置为中空的圆环状；料盘放料位标识直边，所述料盘放料位标识直边以拟合直线确定放料位旋转角度的方式设置在盘体；晶片固定卡槽，所述晶片固定卡槽以其与晶片形成高低落差并支撑晶片的方式设置在料盘放料位标识直边周围的盘体；金属料盘孔位，所述金属料盘孔位以其轮廓位置辅助定位所述金属料盘的方式设置在盘体；金属料盘孔位台面，所述金属料盘孔位台面以承载并提升金属料盘孔位高度的方式设置在盘体；料盘固定卡槽，所述料盘固定卡槽以提供特殊定位点并辅助固定盘体的方式设置在盘体。