[发明专利]磨削磨轮在审

专利信息
申请号: 201811285155.9 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109746842A 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 立石俊幸 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: B24D5/00 分类号: B24D5/00;B24D5/10
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供磨削磨轮,在对晶片进行磨削的磨削磨轮中,即使分段磨具产生消耗也能将磨削水可靠地排出到磨具外,从而确保磨削屑不会堆积于分段磨具的内侧。一种磨削磨轮,该磨削磨轮安装于主轴的前端,对保持工作台所保持的晶片进行磨削,其中,该磨削磨轮具有:环状基台,其具有安装于该主轴的前端的安装面;以及多个分段磨具,它们在该环状基台的与该安装面相反的面上设置均等的间隙并呈环状固定,该环状基台具有按照与相邻的该分段磨具彼此之间所形成的该间隙相同的宽度使该间隙向该环状基台侧延长而形成在该环状基台上的多个缝隙。
搜索关键词: 磨削 磨轮 磨具 环状基台 分段 安装面 晶片 工作台 环状基 磨削屑 地排 堆积 消耗
【主权项】:
1.一种磨削磨轮,其安装于主轴的前端,对保持工作台所保持的晶片进行磨削,其中,该磨削磨轮具有:环状基台,其具有安装于该主轴的前端的安装面;以及多个分段磨具,它们在该环状基台的与该安装面相反的面上设置均等的间隙并呈环状固定,该环状基台具有按照与相邻的该分段磨具彼此之间所形成的该间隙相同的宽度使该间隙向该环状基台侧延长而形成在该环状基台上的多个缝隙。
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