[发明专利]曝边机及曝光方法有效
| 申请号： | 201811287715.4 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109388035B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种曝边机及曝光方法，包括：支撑面，以及在所述支撑面两侧相对设置的第一侧壁以及第二侧壁，在所述第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置有多个照射源，所述多个照射源用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触而产生的静电。 | ||
| 搜索关键词： | 曝边机 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝边机，其特征在于，包括：支撑面，以及在所述支撑面两侧相对设置的第一侧壁以及第二侧壁，其中，在所述第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置有多个照射源，所述多个照射源用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触而产生的静电。
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