[发明专利]高隔离度集成电感及其制造方法在审
| 申请号： | 201811288052.8 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109979913A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 林嘉亮;管继孔 | 申请（专利权）人： | 瑞昱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 公开了集成电感及其制造方法。集成电感包含：第一螺旋线圈，布局在一多层结构的第一金属层上，当从垂直于第一金属层的第一视角观察时，第一螺旋线圈沿顺时针方向从第一端向内螺旋至第二端；第二螺旋线圈，布局在第一金属层上，当从该第一视角观察时，第二螺旋线圈沿逆时针方向从第三端向外螺旋至第四端，其中第一螺旋线圈与第二螺旋线圈关于垂直于该多层结构的中心线对称；双螺旋线圈，布局在多层结构的第二金属层上，当从第一视角观察时，双螺旋线圈沿顺时针方向从第五端向外螺旋至中心线，再沿逆时针方向从中心线向内螺旋至第六端，该双螺旋线圈关于中心线对称；第一通孔，用以电连接第二端与第五端；及第二通孔，用以电连接第三端与第六端。 | ||
| 搜索关键词： | 螺旋线圈 第一金属层 双螺旋线圈 多层结构 集成电感 中心线对称 电连接 顺时针 外螺旋 视角 通孔 向内 观察 垂直 第二金属层 高隔离度 第一端 制造 | ||
【主权项】：
1.一种集成电感，包含：一第一螺旋线圈，布局在一多层结构的一第一金属层上，而且当从垂直于该第一金属层的一第一视角观察时，该第一螺旋线圈沿顺时针方向从一第一端向内螺旋至一第二端；一第二螺旋线圈，布局在该第一金属层上，而且当从该第一视角观察时，该第二螺旋线圈沿逆时针方向从一第三端向外螺旋至一第四端，其中该第一螺旋线圈与该第二螺旋线圈关于垂直于该多层结构的一中心线对称；一双螺旋线圈，布局在该多层结构的一第二金属层上，而且当从该第一视角观察时，该双螺旋线圈沿顺时针方向从一第五端向外螺旋至该中心线，再沿逆时针方向从该中心线向内螺旋至一第六端，其中该双螺旋线圈关于该中心线对称；一第一通孔，用以电连接该第二端与该第五端；以及一第二通孔，用以电连接该第三端与该第六端。
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