[发明专利]一种声波器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201811291555.0 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109474254B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 林瑞钦;廖珮淳 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种声波器件，所述器件包括：衬底基板，以及依次设置在衬底基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述器件还包括保护层，其中：所述保护层设置在所述第二电极层的远离所述衬底基板的面上的第一位置处；所述第一位置为所述第二电极层上与第一重叠区域对应的位置，所述第一重叠区域为所述第一电极层、所述第二电极层和所述压电层之间相互重叠的区域中所述声波器件的有源区所在的区域。本发明的实施例同时还公开了一种声波器件的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种声波器件，其特征在于，所述器件包括：衬底基板，以及依次设置在衬底基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述器件还包括保护层，其中：所述保护层设置在所述第二电极层的远离所述衬底基板的面上的第一位置处；所述第一位置为所述第二电极层上与第一重叠区域对应的位置，所述第一重叠区域为所述第一电极层、所述第二电极层和所述压电层之间相互重叠的区域中所述声波器件的有源区所在的区域。
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