[发明专利]搬运台和使用该搬运台的喷墨装置有效
| 申请号： | 201811292147.7 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109760418B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 末益智志;山口明德;井上隆史 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。该搬运台包括：由多个基台构成的基台；能够分别调整上述多个基台的高度的高度调整部；配置在上述基台上且由多个引导件构成的引导件；能够沿着上述引导件移动的可动部；与上述可动部连接且将基板沿扫描方向搬运的搬运工作台；利用气体对上述可动部进行支承的空气轴承部；以及与上述搬运工作台连结的基板搬运部，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 使用 喷墨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种搬运台，其特征在于，包括：基台，其由多个基台构成；高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；可动部，其能够沿着所述引导件移动；搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下。
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