[发明专利]一种法拉第真空移动装置在审
| 申请号： | 201811309624.6 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111128657A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 何山 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体(1)，法拉第底座(2)，移动组件(3)。整个装置主要由三部分构成，如图1所示：法拉第真空腔体(1)，为法拉第提供真空环境。法拉第底座(2)为整个移动装置提供支撑。移动组件(3)为法拉第提供动力，并反馈实时位置。其中直线电机为法拉第提供动力，直线导轨及滑块提供较高精度的移动及支撑，限位挡块防止滑块超过行程脱落，光栅尺及编码器实时反馈准确的位置信息，限位开关磁铁提供限位，防止直线电机超过预设行程。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法拉第 真空 移动 装置 | ||
【主权项】：
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