[发明专利]管道清洁方法及装置在审
| 申请号： | 201811321264.1 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111151524A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 郭海龙 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种管道清洁方法及装置，所述方法包括：提供一管道清洁装置，包括反应腔体、第一管道、第二管道以及尾气处理装置，所述第一管道上设置有第一阀门，所述第二管道与所述第一管道交汇，且所述第二管道与所述第一管道的交汇点位于所述第一阀门与所述尾气处理装置之间；关闭所述第一阀门，隔离所述交汇点与所述反应腔体；通过所述第二管道向所述第一管道输送清洁气体，以清洁所述第一管道。本发明提供的管道处理方法，降低了所述清洁气体的使用量，提升了半导体设备的利用率，并且本发明提供的管道清洁装置中反应腔体的使用寿命较长。 | ||
| 搜索关键词： | 管道 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
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