[发明专利]一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法有效
| 申请号： | 201811332087.7 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109661122B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 黄永安;卞敬;周劳伯洋;杨彪 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H05K3/30 | 分类号： | H05K3/30;H05K13/04;G09F9/33;H01L33/00 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 孔娜;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微型发光二极管转移相关技术领域，其公开了一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法，该方法包括以下步骤：(1)将制备在蓝宝石基板上的微型发光二极管阵列粘接在临时转移基板上；(2)将所述微型发光二极管阵列自所述临时转移基板转移到透明基板上，所述透明基板设置有热释放胶层；(3)选择性地点亮所述微型发光二极管阵列中的待转移微型发光二极管；(4)采用紫外激光扫描所述透明基板的背面，使点亮的所述待转移微型发光二极管脱离所述热释放胶层并转移到目标基板上。本发明工艺简单，适用性较强，准确性较高，且提高了良品率及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微型发光二极管 透明基板 转移基板 热释放 胶层 蓝宝石基板 选择性地点 目标基板 生产效率 紫外激光 良品率 点亮 粘接 制备 背面 扫描 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：/n(1)将制备在蓝宝石基板上的微型发光二极管阵列粘接在临时转移基板上，并将所述微型发光二极管阵列与所述蓝宝石基板分离；/n(2)将所述微型发光二极管阵列自所述临时转移基板转移到透明基板上，并将所述微型发光二极管阵列与所述临时转移基板分离；所述透明基板设置有热释放胶层，所述热释放胶层包括聚合物吸光层及设置在所述聚合物吸光层上的热释放粘合胶层，所述聚合物吸光层粘接在所述透明基板上，所述微型发光二极管阵列设置于所述热释放粘合胶层上；/n(3)选择性地点亮所述微型发光二极管阵列中的待转移微型发光二极管，并判断被点亮的所述待转移微型发光二极管的发光情况，若满足要求，则转至步骤(4)，否则，更换一批所述待转移微型发光二极管进行选择性地点亮；其中，点亮的所述待转移微型发光二极管发光时产生的热量加热所述热释放粘合胶层与其相接触的区域，以降低所述热释放粘合胶层与点亮的所述待转移微型发光二极管相接触的区域的粘附力；/n(4)采用紫外激光扫描所述透明基板的背面，使所述紫外激光穿过所述透明基板后被所述聚合物吸光层吸收并产生冲击力，所述冲击力使得点亮的所述待转移微型发光二极管脱离所述热释放粘合胶层并转移到目标基板上，由此实现微型发光二极管的选择性巨量转移。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学，未经华中科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811332087.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
