[发明专利]一种应用于单晶炉的底部法兰在审
| 申请号： | 201811342454.1 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109321969A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 涂瑾;傅林坚;韦韬;曹建伟;胡建荣;倪军夫;陈杭;甘超 | 申请（专利权）人： | 浙江晶鸿精密机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明是关于单晶炉的辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的底部法兰。包括下圆盘；下圆盘是圆柱体结构的圆盘，且圆盘的上端面上设有两个环形凹槽，凹槽上均设有圆形封板，水嘴接口有两个，均焊接在第一凹槽上的封板上，并与第一凹槽的腔体连通；隔板有两块，分设于第一凹槽与第二凹槽内；水平调整副室是空心圆柱结构，底部焊设于下圆盘上端面，在侧部开有单边通孔，用于焊接KF10×40法兰；顶板焊接于水平调整副室上端面上；氩气管路为通过焊接三通连接的3/8EP管与KF10×20法兰组成的管路。本发明提高了底部法兰的密封性能；提高单晶炉的硅棒单次生产重量，降低辅助材料的替换频率，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 焊接 底部法兰 下圆盘 水平调整 上端 法兰 副室 隔板 空心圆柱结构 圆柱体结构 单边通孔 辅助材料 辅助设备 环形凹槽 密封性能 腔体连通 三通连接 生产效率 水嘴接口 圆形封板 氩气管路 上端面 封板 硅棒 分设 替换 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种应用于单晶炉的底部法兰，其特征在于，包括下圆盘组件、水平调整组件与氩气管路；所述下圆盘组件包括下圆盘、封板、水嘴接口和隔板；所述下圆盘是圆柱体结构的圆盘，且下圆盘的上端面上设有两个环形凹槽，分别为第一凹槽与第二凹槽；其中第一凹槽与上端面为同心圆，且靠近上端面外缘，第二凹槽设于靠近下圆盘中心处；凹槽上均设有圆形封板，且封板直径与凹槽的外径相同；下圆盘侧面打有2个深孔，用于连通两个环形凹槽，上端面靠近中心处开有2个贯穿孔；所述水嘴接口有两个，均焊接在第一凹槽上的封板上，并与第一凹槽的腔体连通；所述隔板有两块，分设于第一凹槽与第二凹槽内，垂直于槽壁并位于2个深孔中间处，用于实现将下圆盘腔体分隔形成水路；所述水平调整组件包括水平调整副室、顶板与KF10×40法兰；所述水平调整副室是空心圆柱结构，底部焊设于下圆盘上端面，在侧部开有单边通孔，用于焊接KF10×40法兰；所述顶板是由自上而下的三个空心圆柱组成的工字型结构，焊接于水平调整副室上端面上；所述氩气管路为通过焊接三通连接的3/8EP管与KF10×20法兰组成的管路，3/8EP管有两根，端部分别与下圆盘上端面的贯穿孔焊接。
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