[发明专利]ITO薄膜以及透明导电性薄膜在审
| 申请号： | 201811344911.0 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110648783A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 河添昭造 | 申请（专利权）人： | 洛克技研工业株式会社 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14 |
| 代理公司： | 31291 上海立群专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种ITO薄膜以及透明导电性薄膜，ITO薄膜在不进行退火处理的状态下提高非晶ITO膜的稳定性，电阻值随时间没有变化、提高防潮性和阻气性，并克服由弯曲引起的裂纹；透明导电性薄膜具有优异的导电性、透明性以及耐久性。本发明的ITO薄膜在具有挠性的基材的表面，形成有未进行退火处理的状态的非晶ITO膜，其特征在于，非晶ITO膜的膜厚在30nm～320nm的范围内，非晶ITO膜的表面电阻在9～105(Ω/□)的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶 透明导电性薄膜 退火处理 导电性 表面电阻 防潮性 阻气性 电阻 基材 膜厚 挠性 | ||
【主权项】：
1.一种ITO薄膜，在具有挠性的基材的表面，形成有未进行退火处理的状态的非晶ITO膜，其特征在于，所述非晶ITO膜的膜厚在30nm～320nm的范围内，所述非晶ITO膜的表面电阻在9～105(Ω/□)的范围内。/n
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