[发明专利]用于调节粒子束显微镜的方法

摘要

一种用于调节粒子束显微镜的方法，当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤：A：将束调节装置设置为第一设置W1，将物镜激励至第一物镜激励值I1，并且记录第一图像；B：将所述束调节装置设置为第二设置W2，并且记录第二图像；C：将所述束调节装置设置为所述第一设置W1，将所述物镜激励至第二物镜激励值I2，并且记录第三图像；D：将所述束调节装置设置为所述第二设置W2，并且记录第四图像；以及E：将所述束调节装置设置为根据这些图像确定的优化的设置Wopt，将所述物镜激励至第三物镜激励值I3＝I1+K*(I2‑I1)，并且记录进一步图像。

主权项

1.一种用于调节粒子束显微镜的方法，其中，所述粒子束显微镜包括：用于产生粒子束的粒子源；用于将所述粒子束聚焦在物体上的物镜；以及被布置在所述粒子源与所述物镜之间的束路径中的束调节装置，并且其中，所述方法包括以下措施：措施A：将所述束调节装置设置为第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为第一物镜激励值(I1)，并且记录所述物体的第一图像；措施B：将所述束调节装置设置为与所述第一设置(W1)不同的第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为所述第一物镜激励值(I1)，并且记录所述物体的第二图像；措施C：将所述束调节装置设置为所述第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为与所述第一物镜激励值(I1)不同的第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第三图像；措施D：将所述束调节装置设置为所述第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为所述第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第四图像；并且其中，所述方法还包括：基于所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像、以及所述第四图像来确定所述束调节装置的优化设置(Wopt)；确定第三物镜激励值(I3)；并且将所述束调节装置设置为所述优化设置(Wopt)，将所述物镜的激励设置为所述第三物镜激励值(I3)，并且记录至少一个进一步图像；其中，确定所述第三物镜激励值(I3)，使得满足以下关系：I3＝I1+K*(I2‑I1)其中I1是所述第一物镜激励值(I1)，I2是所述第二物镜激励值(I2)，I3是所述第三物镜激励值(I3)，并且K是预定值。