[发明专利]一种大束流离子注入机剂量补打方法在审
| 申请号： | 201811357791.8 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111192810A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 方加晔;李士会;肖志强 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大束流离子注入机打火剂量补打方法，包括：PMAC板卡(1)ACC‑24E2A PMAC轴卡(2)打火检测板(3)直线运动控制组件(4)工控机(5)PMAC MACRO机箱(6)光栅尺(7)直线电机(8)驱动器(9)电源(10)主要特征为PMAC板卡(1)在工控机(6)中负责整个上控制器的数据采集和指令发送，工控机(6)安装WINDOWS操作系统。ACC‑24E2A PMAC轴卡(2)在PMAC MACRO机箱(6)中控制电机的运动，打火信号捕捉处理和电源输出打开。直线运动控制组件(4)包括直线电机(8)光栅尺(7)驱动器(9)控制直线模组的运动，打火检测板(3)监测电源(10)的打火状态和记录电源的运动历史并发送电源打开和关闭的动作。直线模组有两个运动机械限位：上限(12)和下限(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流离 注入 剂量 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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