[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201811363931.2 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109817502B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 富松聪;麻畑达也;佐藤诚;铃木将人 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/08;H01J37/20;H01J37/21;H01J37/22;G06T3/60;G06T5/00;G06T5/50;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其由试样自动地制作试样片，其特征在于，具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并搬运从所述试样分离并摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持试样片保持器，所述试样片被移设于该试样片保持器；以及计算机，其对所述试样片移设单元和所述带电粒子束照射光学系统进行控制，使得在通过所述试样片移设单元保持所述试样片后，在对所述试样片照射所述带电粒子束而得到的图像中，划定包含与所述试样的加工时的深度方向对应的所述试样片的厚度方向的端部在内的整形加工区域，对所述整形加工区域照射所述带电粒子束，从而对所述试样片进行整形加工。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本株式会社日立高新技术科学，未经日本株式会社日立高新技术科学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811363931.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
