[发明专利]压印模板及其制备方法和压印方法有效
| 申请号： | 201811366008.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109445247B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 谭伟;郭康;谷新 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 汪源;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种压印模板，包括：衬底基板、压印用图形层和平坦化层；所述平坦化层位于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，所述平坦化层背向所述衬底基板的一侧表面为平面；所述平坦化层和所述压印用图形层被配置为：在特定除膜工艺下，所述平坦化层被去除，而所述压印用图形层保留。本公开还提供了一种压印模板的制备方法和压印方法。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印模板，其特征在于，包括：衬底基板、压印用图形层和平坦化层；所述平坦化层位于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，所述平坦化层背向所述衬底基板的一侧表面为平面；所述平坦化层和所述压印用图形层被配置为：在特定除膜工艺下，所述平坦化层被去除，而所述压印用图形层保留。
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