[发明专利]压印模板和压印方法有效
| 申请号： | 201811366420.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109240040B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 郭康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 汪源;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种压印模板，包括：衬底基板、压印用图形层和可形变层；其中，所述可形变层设置于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，且所述可形变层背向所述衬底基板一侧表面形状与所述压印用图形层背向所述衬底基板一侧表面形状相同；所述可形变层配置为在外部刺激下其厚度可变。本公开还提供了一种压印方法。本公开的技术方案可避免脱模过程中发生压印胶脱落、压印出的图形扭曲变形的问题，提升纳米压印工艺的保真度。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模板 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印模板，其特征在于，包括：衬底基板、压印用图形层和可形变层；其中，所述可形变层设置于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，且所述可形变层背向所述衬底基板一侧表面形状与所述压印用图形层背向所述衬底基板一侧表面形状相同；所述可形变层配置为在外部刺激下其厚度可变。
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