[发明专利]移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法

摘要

本发明涉及移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法。于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

主权项

1.一种移动体装置，具备：物体支承装置，将物体从下方悬浮支承；移动体，可在保持被悬浮支承的前述物体的状态下，相对于前述物体支承装置相对移动；第1支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第1保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第1保持面形成第1移动面；第2支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第2保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第2保持面形成第2移动面；以及搬送系统，具备：第1搬送系统，以将在前述物体支承装置上被悬浮支承的前述物体，沿着前述第1移动面往前述第1保持面搬出的方式，使前述物体往第1方向移动；以及第2搬送系统，在以保持前述物体的前述移动体，保持与前述物体不同的其他物体的方式，前述物体的一部分位于前述物体支承装置上的状态下，将被前述第2保持面悬浮支承的前述其他物体，以沿着前述第2移动面往前述物体支承装置搬入的方式往第2方向移动，前述移动体与前述物体支承装置，以前述移动体保持前述其他物体的方式，在上下方向上一者相对于另一者相对移动。