[发明专利]基板裂片装置在审
| 申请号： | 201811375591.5 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110526567A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 郑下震 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/033 | 分类号： | C03B33/033 |
| 代理公司： | 11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 许伟群;郭放<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板裂片装置，其包括裂片杆，所述裂片杆向所述基板移动以加压基板的表面，所述裂片杆包括：杆体；第一弹性部件，其设置于所述杆体的最末端；及，第二弹性部件，其设置于所述杆体与所述第一弹性部件之间，所述第一弹性部件的材料相比于所述第二弹性部件的材料具有更大的对于外力的变形率。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性部件 裂片杆 杆体 基板移动 加压基板 裂片装置 变形率 基板 | ||
【主权项】：
1.一种基板裂片装置，其中，所述基板裂片装置包括裂片杆，所述裂片杆能够向基板移动以加压所述基板的表面，/n所述裂片杆包括：/n杆体；/n第一弹性部件，其设置于所述杆体的最末端；及，/n第二弹性部件，其设置于所述杆体与所述第一弹性部件之间，/n所述第一弹性部件的材料相比于所述第二弹性部件的材料具有更大的对于外力的变形率。/n
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