[发明专利]平行于器件侧壁方向抛光密集器件侧壁的装置及方法有效
| 申请号： | 201811376951.3 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111195852B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 许开东;车东晨;胡冬冬;崔虎山;刘自明;琚里;孙宏月;陈璐 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种平行于器件侧壁方向抛光密集器件侧壁的装置及方法。该平行于器件侧壁方向抛光密集器件侧壁的装置包括：晶圆托片装置，用于固定待抛光器件；研磨体，其为含研磨颗粒并且可自我修复的柔性或准流体；驱动装置，带动所述晶圆托片装置进行往复运动，使所述待抛光器件插入和离开所述研磨体对待抛光器件的侧壁进行抛光。本发明能够实现无损、无盲区地去除器件侧壁的黏附层和损伤层。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 器件 侧壁 方向 抛光 密集 装置 方法 | ||
【主权项】：
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