[发明专利]弹性波器件、射频前端电路和通信器件有效
| 申请号： | 201811389114.4 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109861663B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 谷口康政 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H04B1/40;H04M1/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 弹性波器件包括压电材料层、设置在压电材料层上的IDT电极、以及覆盖IDT电极的介电膜。IDT电极包括第一电极层以及层叠在第一电极层上的第二电极层。第一电极层的波长归一化膜厚和第二电极层的波长归一化膜厚等于或大于约1.25％。波长归一化膜厚通过使用由IDT电极的电极指间距所限定的波长来归一化。第二电极层的密度低于第一电极层的密度。第二电极层的侧面相对于IDT电极的厚度方向倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 器件 射频 前端 电路 通信 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波器件，包括：压电材料层；设置在所述压电材料层上的IDT电极；以及覆盖所述IDT电极的至少一部分的介电膜，其中，所述IDT电极包括第一电极层以及层叠在所述第一电极层上的第二电极层，所述第一电极层的波长归一化膜厚和所述第二电极层的波长归一化膜厚等于或大于约1.25％，所述第一电极层的波长归一化膜厚和所述第二电极层的波长归一化膜厚通过使用由所述IDT电极的电极指间距所限定的波长来归一化，所述第二电极层的密度低于所述第一电极层的密度，并且所述第二电极层的侧面相对于所述IDT电极的厚度方向倾斜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811389114.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
- 下一篇：一种窄带陶瓷滤波器
