[发明专利]一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统在审
| 申请号： | 201811408987.5 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109254500A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 宋海生;李德建;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；一光刻胶喷涂系统，光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴。本发明的技术方案有益效果在于：把整个光刻胶输送系统分为过滤系统与喷涂系统，在过滤系统中增加压缩泵和多个过滤器，同时增加循环回路，以进行循环过滤提高过滤效果，在喷涂系统中增加压缩泵，能够精确地输送光刻胶的喷涂，进一步提高光刻胶喷涂的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻胶 过滤系统 压缩泵 光刻胶喷涂 输送系统 缓冲罐 多重过滤 喷涂系统 储存罐 多个过滤器 光刻胶瓶 过滤器组 过滤效果 循环过滤 循环回路 喷嘴 喷涂 | ||
【主权项】：
1.一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其特征在于，包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，所述光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。
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