[发明专利]一种正装GaN基LED微显示器件及其制作方法有效
申请号: | 201811409855.4 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN109560100B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 闫晓密;张秀敏;华斌;王书宇;田媛 | 申请(专利权)人: | 江苏新广联科技股份有限公司;江苏新广联光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/38;H01L33/46;H01L33/48;H01L33/64;H01L21/76;H01L21/762;H01L33/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214192 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于LED微显示屏技术领域,提供一种正装GaN基LED微显示器件及其制作方法,包括蓝宝石衬底,在蓝宝石衬底正面设有若干个呈阵列分布的LED微显示单元,LED微显示单元间通过绝缘SU胶隔开;LED微显示单元包括位于蓝宝石衬底上的缓冲层、N‑GaN层、多量子阱、P‑GaN层和透明导电层,在N‑GaN层上设有N电极,在N电极和绝缘SU胶上设有SiO绝缘层,SiO绝缘层上P电极,P电极穿过SiO绝缘层与透明导电层接触;在蓝宝石衬底背面设有布拉格反射镜DBR;本发明的微显示器件在LED单元隔离槽内填充较厚的绝缘SU8胶,避免了因电极应力因素导致的断路,保证了LED微显示器件的稳定性;同时背面采用布拉格反射镜DBR,使得器件的出光率更好。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan led 显示 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种正装GaN基LED微显示器件,包括蓝宝石衬底(3),其特征在于,在所述蓝宝石衬底(3)正面设有若干个呈阵列分布的LED微显示单元(1),所述LED微显示单元(1)间通过绝缘SU8胶(9)隔开;所述LED微显示单元(01)包括位于蓝宝石衬底(3)上的缓冲层(4)、N‑GaN层(5)、多量子阱(6)、P‑GaN层(7)和透明导电层(8),在所述N‑GaN层(5)上设有N电极(11),在所述N电极(11)和绝缘SU8胶(9)上设有SiO2绝缘层(10),SiO2绝缘层(10)上P电极(12),所述P电极(12)穿过SiO2绝缘层(10)与透明导电层(8)接触;在所述蓝宝石衬底(1)背面设有布拉格反射镜DBR(2)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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