[发明专利]使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统有效
| 申请号： | 201811414434.0 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109580173B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 何锋赟;胡玥;张春林;贾庆莲;赵新令;刘扬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G02B27/62 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统，方法包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、第二光学系统及平面反射镜；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。(3)、通过所述干涉仪进行装调检测。本发明在使用装调用平板对光学系统进行装调检测，可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 干涉仪 色差 光学系统 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间；(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。
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