[发明专利]一种玻璃表面缺陷检测系统及方法有效
| 申请号： | 201811418935.6 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109297991B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李晓春 | 申请（专利权）人： | 深圳市麓邦技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 44384 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种玻璃表面缺陷检测系统及方法，其中检测系统包括承载平台、深紫外光源以及专用相机，其中承载平台用于支撑放置待检测玻璃；所述深紫外光源发射紫外光并倾斜照射所述承载平台上的待检测玻璃；所述专用相机安装于所述承载平台正上方并正对着所述承载平台表面，用于采集反射的深紫外光；利用上述检测系统的检测方法包括四个步骤：待检测玻璃安放；深紫外光照射；图像采集；判定待检测玻璃是否存在缺陷。本发明提供的检测系统及方法能够解决现有技术采用可见光光源检测玻璃缺陷会产生较大背景干扰的缺点，利用深紫外光光源进行检测，能够消除背景干扰，有效提高准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 承载平台 检测 检测系统 深紫外光 玻璃 缺陷检测系统 深紫外光源 背景干扰 玻璃表面 专用相机 可见光光源 紫外光 玻璃缺陷 技术采用 倾斜照射 图像采集 准确率 正对 反射 光源 判定 照射 采集 发射 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃表面缺陷检测系统，其特征在于：包括承载平台、深紫外光源以及专用相机，其中承载平台用于支撑放置待检测玻璃；所述深紫外光源发射紫外光照射所述承载平台上的待检测玻璃；所述专用相机安装于所述承载平台正上方并正对着所述承载平台表面，用于图像的采集；/n所述专用相机包括一个相机传感器，所述相机传感器前端设有滤光器，所述滤光器用于屏蔽波长大于400nm的光；所述相机传感器的硅衬底厚度为100um～300um；/n所述深紫外光源发光方向与所述承载平台支撑面形成的夹角大小为1°～90°，所述深紫外光源为中空结构的环形光源。/n
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