[发明专利]一种中空旋转平台装置在审
| 申请号： | 201811423357.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111221220A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 宋双;程虎;郭生华 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/683 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制程中涂胶显影领域，具体地说是一种中空旋转平台装置，包括单元平台、轴承组件、中空轴、chuck、锥齿轮A、锥齿轮B及电机，中空轴通过轴承组件转动安装于单元平台上，中空轴的一端与chuck相连，另一端与负压源连接；电机安装于单元平台上，电机的输出轴连接有锥齿轮A，中空轴上安装有锥齿轮B，锥齿轮B与锥齿轮A相啮合；晶圆放置在chuck上，并通过负压源提供的真空被吸附于chuck上。本发明可选用常用普通电机，通过锥齿轮啮合结构达到chuck旋转的目的；本发明的中空轴实现真空吸附的功能，解决了单元电机采用专用中空旋转电机的量小、面窄、价格高、占用空间大等应用限制性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中空 旋转 平台 装置 | ||
【主权项】：
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