[发明专利]蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备在审
| 申请号： | 201811424116.2 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109487218A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;胡晓晶 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。这样，可以使得蒸发源加热电导入装置具备较好的导电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 导入装置 电连接 调节杆 加热电 导电 真空蒸发镀膜 导电接头 加热电极 电源输入端 导电性能 加热装置 外部电源 真空腔 体内 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源加热电导入装置，其特征在于，包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。
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